Сканирующие электронные микроскопы

Сканирующие электронные микроскопы (СЭМ) являются одними из наиболее широко используемых инструментов в области микро- и нанотехнологий. Благодаря высокой разрешающей способности и глубине резкости, СЭМ позволяет проводить детальный анализ морфологии, топографии и микроструктуры поверхности различных материалов.

Принцип работы СЭМ

• Основу работы СЭМ составляет взаимодействие сфокусированного пучка электронов с поверхностью исследуемого образца. Электроны, ускоренные до энергии от нескольких сотен электрон-вольт до десятков килоэлектронвольт, сканируют поверхность в растре. В результате взаимодействия электронного пучка с атомами материала образца генерируются вторичные (SE) и обратнорассеянные электроны (BSE), а также характерное рентгеновское излучение, регистрируемое соответствующими детекторами.
• Вторичные электроны (SE) используются для получения изображений с высокой разрешающей способностью и выраженной топографической контрастностью.
• Обратнорассеянные электроны (BSE) обеспечивают контраст по атомному номеру, позволяя визуализировать распределение элементов.
• Рентгеновские сигналы применяются в энергодисперсионной (EDS) или волноводной (WDS) спектроскопии для качественного и количественного элементного анализа.